第295章 坚持到完全胜利(第2页)
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华夏确实成了他唯一的机会,尽管这个机会想要抓住也不容易。
“那梁博士的意思是?”
江鹤眼睛微眯,已经猜到了梁梦淞的想法。
“我的想法就是您之前的提议,全面国产化替代。”
梁梦淞将自己的想法说出口之后,便深深地吐出一口浊气。
显然他十分清楚,这简简单单的几个字的背后,究竟是有多么的困难。
国产化的问题,可不仅仅只有光氪机这一种设备。
芯片的生产需要光氪机、等离子石刻机、离子注入机、反应离子刻蚀系统、单晶炉、晶片减薄机、气相外延炉设备……等等大量的设备,才能真正生产一颗合格的芯片。
而其中,绝大多数的设备,都只能依赖进口。
当然,也并不是所有设备,都像光氪机那样,遭受严格的限制。
而且由于前几年中新国际的蓬勃展,也带动了国内的上下游企业。
已经有不少企业,开始了这方面的攻克。
只是如果选择全面过程化替代,也确实有不少难以逾越的大山,摆在他们面前。
不过江鹤对于梁梦淞的提议,自然是举双手赞成。
毕竟,未来的贸易战,根本就不可能绕过去。
所以必须要提前做些准备。
“梁博士,有关国产化的问题,你不用有任何顾虑。
不管是十年,还是二十年,都不需要担心。
我们要一直坚持到硅片的极限,一直打到完全胜利为止。
记住,在研资金上,我永远都不会减少投入的。”
江鹤先是给梁梦淞做出资金上的承诺,又话锋一转,缓缓说道
“至于说euV光源的问题,目前阿斯麦尔使用的方案是激光激等离子体光源。
那我们能不能换一个方案,尝试利用同步辐射光源获得的euV光源,来进行光刻呢?
毕竟上个世纪8o年代就已经证实了,同步辐射光源确实能够产生euV光源。”
江鹤的前面回复,直接给了梁梦淞非常大的振奋。
毕竟江鹤可是华夏富,身价千亿。
愿意做出如此承诺,绝对是极大的信心加持。
不过当后面江鹤聊起euV光源的时候,梁梦淞又忍不住挑了挑眉头。
他实在是没想到,江鹤居然会和他聊技术。
“同步辐射光源确实能产生euV光源,但这个光线的功率,并不能达到euV光刻量产的要求啊。”
作为一个资深芯片工程师,梁梦淞对于所有的euV方案肯定都有所了解。
对于高能同步辐射光源,能够产生各种波长光源的性质,也自然是清楚的。
所以他没有任何犹豫,直接就回答了江鹤的疑问。
听到梁梦淞的回答,江鹤微微一笑,道
“前不久,科大刚刚布了一项研究。
电子束在绕过加器时,受到磁场的作用,会形成一种名为‘微距束’的精细微结构。
再让这种微距束穿过激光,经由激光和电子缠绕的相互作用。
最后会形成一种稳态排列,科大将其称为‘稳态微距束’。
使用稳态微距束,就能用加器产生高功率的稳态光线。
这个功率已经足够做到euV光刻的量产。”
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